氣體回收裝置是對(duì)生產(chǎn)中的廢氣進(jìn)行回收再利用，采用該系列裝置是一項(xiàng)降低生產(chǎn)成本，節(jié)約能源，提高經(jīng)濟(jì)效益的有力措施。

　　氫氣回收裝置主要用于鎢鉬行業(yè)還原工序排出的廢氫，收集廢氫后進(jìn)入預(yù)處理系統(tǒng)，經(jīng)增壓后由冷卻器冷卻，汽水他離器分離水份，然后進(jìn)入純化裝置主體部分，對(duì)氫氣進(jìn)行精制處理，經(jīng)處理后的氫氣中含氧量≤5ppm，H2O≤10ppm，N2≤900ppm。氫氣回收裝置分為中壓回收和常壓回收，中壓回收氫氣的增壓由壓縮機(jī)進(jìn)行，而常壓回收則由羅茨風(fēng)機(jī)來(lái)完成。

　　氬氣回收純化裝置是對(duì)區(qū)熔單晶硅爐排出的氬氣進(jìn)行回收處理，通過(guò)膜片壓縮機(jī)穩(wěn)壓器進(jìn)入氬氣純化裝置主體部分進(jìn)行純化處理。

　　系統(tǒng)特點(diǎn)

　　1)工藝流程簡(jiǎn)單，操作方便，自動(dòng)化程度高。

　　2)吸附容量大，吸附再生速度快，吸附效率高，回收率高。

　　3)設(shè)備結(jié)構(gòu)緊湊，占地面積小。

　　4)有卓越的安全性能，適用于易燃易爆場(chǎng)所。

　　5)性能穩(wěn)定，設(shè)備運(yùn)行環(huán)境為常壓，能耗小，運(yùn)行成本低。

　　6)設(shè)備操作彈性大，可承受較高的溫度、壓力、風(fēng)量、濃度的波動(dòng)。

　　7)投資回報(bào)期短，通常一年內(nèi)可回收投資成本。